光刻機研發這麽多年,理論體係大家都清楚,但能否用技術實現出來卻至關重要。
徐磊雖然率先解決了光源係統,能夠達到很高的分辨率以及使用壽命。
可配製光刻膠卻比較棘手。
霓虹國能為海外光刻機公司提供高端光刻膠,很大程度上是借助了自身在特殊材料領域的發展。
國內由於此行業底蘊較為薄弱,以至於不少原材料都需要徐磊從零開始研發,這在效率速度上自然會慢上很多。
況且要保證在晶圓上蝕刻出3納米甚至1納米的芯片電路,對光刻膠的要求也就更高,起碼品級要超出海外高端光刻機所使用的光刻膠,否則若最後和製作出來的頂級光刻機不配套,那就成了寶劍配上一個爛木鞘,怎麽看會怎麽別扭。
至於物鏡係統的研發,進度則就明顯快多了。
海外高端光刻機所使用的鏡頭,基本來自徳國公司。
且鏡頭上的每一塊鏡片均采用人工打磨的方式,確保鏡片沒有任何瑕疵。
華科院內盡管找不到這種程度的工匠,但依靠星瞳的強大智能運算能力和徐磊的把控,最後打磨出來的鏡片倒也能夠滿足頂級光刻機的需求。
於是在這種情況下。
最後當光刻機各部件成功完成組裝,可以進行測試的時候。
僅剩下光刻膠仍舊沒有解決。
這使得其他人也隻能耐心等待,相信徐磊可以配製出頂級的光刻膠。
但由於先前華科院已經放出風去,表示春節前後就能讓國產光刻機投入使用。
所以眼看著時間一天天流逝,大家的心情也開始緊張起來。
尤其是院長楊森平。
幾乎都快把自己的辦公室搬到實驗室來了。
大部分時間都待在項目研究中心。
當然。
他除了是關心項目進度外,更重要的還是想保證這邊的新項目研究組不出現差池,省的到時候造成嚴重影響。