集中營製度在納粹統治時期惡性膨脹，是德國法西斯極權體製中最為殘忍的統治手段和形式。在整個納粹統治時期，集中營的基本麵目、規模和關押對象等，前後經曆過一些變化。
希特勒就任德國總理後一個多月，衝鋒隊在對付政敵的過程中，為了繞過遠未完成納粹化改造的司法部門，並避免出現監獄人滿為患的局麵，開始大批建立集中營。1933年3月下旬，衝鋒隊在斯圖加特附近建立第一個集中營。很多地方的衝鋒隊組織紛紛仿效，到年底，由衝鋒隊設立並管理的集中營達50多座，一共關押了4萬～5萬人。在這些集中營中，惡名昭彰是柏林附近的奧拉寧堡集中營。由衝鋒隊組建的集中營大多小而簡陋，往往是利用城市裏的倉庫和地下室改裝，被稱為“地堡”式集中營。衝鋒隊紀律鬆散，隊員品質低下，集中營內虐待甚至殘害囚禁者的現象非常流行。連納粹營壘裏的人看到內情後也感到震驚。一次，普魯士蓋世太保頭目魯道夫·迪爾斯率眾包圍並攻克柏林衝鋒隊集中營，進去後看到了有組織地殘忍毆打囚犯的慘狀：“約12個惡棍被雇來輪流用鐵棒、橡皮警棍和鞭子毆打他們的犧牲品，當我們進去時，這些隻剩下骨頭的人一排排躺在汙穢的稻草上，傷口正在化膿”。
黨衛隊建造的集中營比較正規，在整個納粹統治時期規模不斷擴展，直到納粹政權覆亡時才關閉。通常所說的納粹集中營就是指這類集中營。第一座黨衛隊集中營建立於1933年3月，希姆萊在巴伐利亞州達豪市附近一個火藥廠的舊址上，以幾間石砌平房為中心，建立了達豪集中營。後又增建阿沙芬堡集中營，將帕本貝格監獄改造成帕本貝格集中營。
1934年上半年，隨著衝鋒隊同希特勒之間的矛盾不斷激化，以及衝鋒隊與黨衛隊之間的相對地位發生根本性變化，集中營的掌管權逐漸向黨衛隊轉移。而在衝鋒隊遭到清洗後，所有集中營都劃歸黨衛隊管理。