第七十八章 產業生態
目前國內的半導體設備，國產化率平均僅16%，可以細分為九個領域。
分別是：氧化/擴散爐(高溫爐)、光刻設備、塗膠顯影設備、蝕刻設備、離子注入設備、薄膜沉積設備、化學機械拋光設備、檢測設備、清洗設備。
氧化/擴散爐(高溫爐)市場主要被外資品牌占據，如米國應用材料、東瀛日立、東京電子等企業。國內目前隻有北方華創在這個領域發展。
光刻設備方麵，之前全球光刻機市場主要由尼德蘭的阿斯麥(A**L)、東瀛尼康和佳能三家把持。國內就是剛剛崛起的神光儀器，以及之前的微電子。
塗膠顯影設備方麵，全球塗膠顯影設備龍頭為東瀛的東京電子、迪恩士和德意誌的蘇斯微。國內有競爭力的公司為沈陽芯源微。
刻蝕設備方麵，全球刻蝕設備行業前三名分別為拉姆研究、東京電子、應用材料。國內企業裏麵有中微公司、北方華創。
離子注入設備，全球離子注入機龍頭為米國應用材料和Axcelis公司，兩家合計占據全球近90%的市場份額。國內企業中，隻有凱世通和中科信具備集成電路離子注入機的研發和生產能力。
薄膜沉積設備，目前全球市場高度壟斷，應用材料、東京電子和拉姆研究占據了絕大部分的市場。國內企業有北方華創、沈陽拓荊。
化學機械拋光方麵，CMP機台市場被應用材料和東瀛的Ebara高度壟斷，兩者市占率接近90%。國內市場上，華海清科和電科裝備45所是主要的研發力量。
檢測設備方麵，目前集成電路質量測量設備全球主要的供應商是科磊半導體(KLATencor)、應用材料和東瀛日立。國產企業主要代表是上滬睿勵科學和上滬精測。
另外檢測設備，還有電學檢測設備，目前電學檢測設備市場集中度很高，其中測試機主要被愛德萬和泰瑞達壟斷，分選機被愛德萬、科休半導體、愛普生等企業壟斷，探針台被東京電子、東京精密和伊智所壟斷。