雍正當政，大量增設府、直隸州和州、縣等地方行政機構，對親民官的任用也作了一些變革。
雍正二年(1724),山西巡撫諾敏建議撤銷衛所，改歸州縣管轄。雍正命兵部等衙門議複，兵部不讚成，理由是軍、民戶役不同，不便歸並；武科甲人員出路是衛所的守備、千總，裁撤衛所，是去了他們的為仕之路。雍正與他們的看法截然不同，責備他們“所見甚小”,指示除邊遠衛所外， “內地所有衛所，悉令歸並州縣”。為了把這件事做好，他要求各省督撫詳細規劃合並事項，吏、兵二部研究武科甲出路問題。變衛所為州縣，他的決心很大，這是地方行政區劃改革的內容之一。
與此同時進行的是增置府州，這比衛所改製所涉及範圍要大。各地督撫見雍正支持諾敏，紛紛效尤，提出申請，雍正一一采納，在短期間內許多省的行政區劃進行了改動。山西原有寧武衛，改升為寧武府，另設寧武縣為其附郭，將右衛等三衛改為縣，設朔平府領之，升平定、忻、代、保，解、絳、吉、隰等八個散州為直隸州，各領屬縣。在直隸，添設熱河廳，張家口廳，改冀、定、晉、趙、深五散州為直隸州，升天津衛為直隸州，尋升為府。在江蘇，將太倉、邳、海、通四州升為直隸州，把蘇州府長洲縣、鬆江府華亭縣，常州府武進縣，揚州府江都縣等縣析分為二個縣或三個縣，使蘇州府有三個首縣，鬆江府、常州府、揚州府也各有二個附郭縣，另改金山衛為金山縣。安徽的潁、毫、泗、六安等州，山東的泰安、武定、濱、濟寧、曹、沂六州，陝西的商、同、華、耀、乾、邠、鄜、綏德、葭等州，廣西的鬱林、賓、西隆州等州都升為直隸州。甘肅的甘州、涼州、西寧、寧夏等衛改為府，肅、秦、階三州升成直隸州，台灣增設彰化縣。陸續增置的府廳州縣，據《清史稿·地理誌》中所載，約略計算一下，增設和複置的府三十三個，直隸州，廳五十八個，州、廳二十八個，縣八十五個，共計二百零四個。